发布时间:2019年07月29日 09:04:57 信息来源:本站 浏览次数:
全国半导体设备和材料标委会气体分会
委秘字(2019)第04号
关于征集《电子工业用二氯硅烷》、《电子工业用四氯化硅》等两项国家标准征求意见稿修改意见的通知
各位专家、各位委员、气体行业各有关单位:
根据全国气体标准化技术委员会2018年标准制修订工作进度的安排,现开始征集《电子工业用二氯硅烷》、《 电子工业用四氯化硅》两项国家标准征求稿的修改意见。
请认真阅读附件1~附件4中的征求意见稿、编制说明,填写附件5~附件6中的标准修改意见表,并请于2019年9月25日前将该表反馈至标委会的公用邮箱。
本通知含6个附件:
1、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿;
2、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿编制说明;
3、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿
4、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿编制说明;
5、《电子工业用二氯硅烷》标准修改意见表;
6、《电子工业用四氯化硅》标准修改意见表。
秘书处联系方式:
电话:(028)85964988
联系人:周朋云
E-mail:859649888@qq.com
全国半导体设备和材料标准化技术
委员气体分会秘书处
附件1-电子工业用二氯二氢硅征求意见稿20190727.doc
附件2-电子工业用二氯二氢硅征求意见编制说明20190727.doc
附件3-电子工业用四氯化硅征求意见稿20190727.doc
附件4-电子工业用四氯化硅征求意见稿编制说明20190727.doc