发布时间：2019年07月29日 09:04:57 信息来源：本站 浏览次数：
全国半导体设备和材料标委会气体分会
委秘字（2019）第04号
关于征集《电子工业用二氯硅烷》、《电子工业用四氯化硅》等两项国家标准征求意见稿修改意见的通知
各位专家、各位委员、气体行业各有关单位：
根据全国气体标准化技术委员会2018年标准制修订工作进度的安排，现开始征集《电子工业用二氯硅烷》、《 电子工业用四氯化硅》两项国家标准征求稿的修改意见。
请认真阅读附件1～附件4中的征求意见稿、编制说明，填写附件5～附件6中的标准修改意见表，并请于2019年9月25日前将该表反馈至标委会的公用邮箱。
本通知含6个附件：
1、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿；
2、《电子工业用二氯硅烷》征求意见稿编制说明；
3、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿
4、《电子工业用四氯化硅》征求意见稿编制说明；
5、《电子工业用二氯硅烷》标准修改意见表；
6、《电子工业用四氯化硅》标准修改意见表。
秘书处联系方式：
电话：（028）85964988
联系人：周朋云
E-mail：859649888@qq.com
全国半导体设备和材料标准化技术
委员气体分会秘书处
附件1-电子工业用二氯二氢硅征求意见稿20190727.doc
附件2-电子工业用二氯二氢硅征求意见编制说明20190727.doc
附件3-电子工业用四氯化硅征求意见稿20190727.doc
附件4-电子工业用四氯化硅征求意见稿编制说明20190727.doc
